Pre-defined Positioning system | XYZ-SLC17:22
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.23
- 조회수 :3,776
본문
이동 범위가 각각 12mm인 3개의 SLC-1720 stage에 기초합니다.
이 시스템은 최대 1.5N의 페이로드를 처리할 수 있습니다.
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Model |
XYZ-SLC-17:22 |
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Degrees of Freedom
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3 |
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Stages used
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SLC-1720 |
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Travel [mm]
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12 (X); 12 (Y); 12 (Z) |
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Payload [N]
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1.5 |
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Closed-Loop
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
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1 (S) |
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Breadboard Mount
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Dimensions [mm]
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65 x 65 x 41 (L x W x H) |
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Height of Platform above Ground [mm]
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30 (24 … 36) |
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Direct Mount
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Dimensions [mm]
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34 x 22 x 36 (L x W x H) |
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Height of Platform above Ground [mm]
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25 (19 … 31) |
