제품소개

Pre-defined Positioning system

Pre-defined Positioning system | XYZ-CLS23:30

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  • 작성자 :최고관리자
  • 작성일 :작성일19.09.23
  • 조회수 :1,798

본문

Travel Range가 각각 21mm인 3개의 CLS-3232 Stage를 기반으로

최대 1.5N의 payload를 처리할 수 있습니다. 

SmarAct 모듈러 시스템과의 호환성때문에 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 


Model

XYZ-CLS-23:30

Degrees of Freedom

3

Stages used

SLS-3232

Travel [mm]

21 (X); 21 (Y); 21 (Z);

Payload [N]

1.5

Closed-Loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S)

Breadboard Mount

Dimensions [mm]

65 x 65 x 59 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

43 (31.5 ... 52.5)

Direct Mount

Dimensions [mm]

48.5   x 32 x 54 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

38 (27.5 ... 48.5)


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