Pre-defined Positioning system | XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30

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이동 범위가 26mm인 X와 Y의 SLC-1740 Stage와 Z의 이동 범위가 21mm인 SLC-1730 1개를 기반으로 합니다.

이 시스템은 최대 1.5N의 페이로드를 처리할 수 있습니다.

Model

XYZ-XY SLC17:40 Z SLC 17:30

Degrees of Freedom

Stages used

SLC-1740 (X, Y); SLC-1730 (Z)

Travel [mm]

26 (X); 26 (Y); 21 (Z)

Payload [N]

1.5

Closed-Loop

Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]

1 (S)

Breadboard Mount

Dimensions [mm]

65 x 65 x 62 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

47 (36.5 ... 57.5)

Direct Mount

Dimensions [mm]

42 x 40 x 57 (L x W x H)

Height of Platform above Ground [mm]

42 (31.5 ... 52.5)