Linear & High Load Stages | CLS-92 Series
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.10
- 조회수 :3,187
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CLS-92 시리즈는 92 mm의 폭과 17 mm의 높이는 갖는 CLS 시리즈의 Linear stage중 하나로서 멀티 축 시스템에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다.
이 제품 또한 Mounting hole은 Rotary stage와 Goniometers를 장착하기 위해서 완벽히 일치하게 만들어 졌습니다.
CLS-Series들은 모듈화와 쉬운 구성이 최우선 고려사항일 때 완벽한 Stage입니다.
Model |
CLS-92152 |
CLS-9292 |
Dimensions (mm) |
92 x 152 x17 |
92 x 92 x 17 |
Travel Range (mm) |
103 |
63 |
Blocking Force [N]
|
≥ 3.5 |
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Weight (g)
|
558 |
339 |
Max. normal force (N) |
20 |
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Open-loop
|
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Resolution [nm]
|
< 1 |
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Velocity [mm/s]
|
> 20 |
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Closed-Loop
|
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
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1 (S), 4 (L) |
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Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [nm]
|
±50, ±100 |
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Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]
|
4 (L) |
|
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke (H)CU [nm]
|
±1000 (L) |
|
Sensor Resolution [nm] |
1 (S) |
|
4 (L) |
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Options
|
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Material Options
|
Aluminum base as standard; Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
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Vacuum Options
|
HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
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Non-Magnetic Option
|
Yes (-NM) |
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