Hybrid & Exchangeable Drive | DLS-5252
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.11
- 조회수 :3,686
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The Hybrid-Drive stage DLS-5252는 SLS-52 Linear 및 Rotary stage뿐만 아니라 모든 연결 요소 및 어댑터 플레이트를 포함한 SLS-52 모듈러 시스템과 완벽하게 호환됩니다. DLS Stage는 두 가지 드라이브 개념을 상속받지만 MCS2의 한 채널만 사용합니다.
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DLS-5252
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Travel [mm]
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30 |
Scan Range [µm]
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> 35 |
Blocking Force [N]
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> 3.5 |
Max. Normal Force [N]
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5.0 |
Max. Lift Force [N]
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> 1.5 |
Weight [g]
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150 |
Dimensions [mm]
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52 x 52 x 15 (L x W x H) |
Resonance Frequency (no load) [Hz]
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> 350 |
Material
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Base Material
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Titanium |
Closed-Loop
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Velocity [mm/s]
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up to 20 |
Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
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1 (S) |
Scan Cut-off Frequency [Hz]
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> 10 |
Options
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Material Options
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Aluminum base (-AL) |
Vacuum Options
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HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
Non-Magnetic Option
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Yes |
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