Hybrid & Exchangeable Drive | DLS-3232
페이지 정보
- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.11
- 조회수 :3,740
본문
The Hybrid-Drive stage DLS-3232는 SLS-32 linear 및 rotary stage뿐만 아니라 모든 연결 요소 및 어댑터 플레이트를 포함한 SLS-32 모듈러 시스템과 완벽하게 호환됩니다.
DLS Stage는 두 가지 드라이브 개념을 상속받지만 MCS2의 한 채널만 사용합니다.
|
|
DLS-3232
|
|
Travel [mm]
|
21 |
|
Scan Range [µm]
|
>10 |
|
Blocking Force [N]
|
>3.5 |
|
Max. Normal Force [N]
|
5.0 |
|
Max. Lift Force [N]
|
>1.5 |
|
Weight [g]
|
50 |
|
Dimensions [mm]
|
32 x 32 x 12 (L x W x H) |
|
Resonance Frequency (no load) [Hz]
|
>700 |
|
Material
|
|
|
Base Material
|
Titanium |
|
Closed-Loop
|
|
|
Velocity [mm/s]
|
up to 20 |
|
Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
|
1 (S) |
|
Scan Cut-off Frequency [Hz]
|
> 35 |
|
Options
|
|
|
Material Options
|
Aluminum base (-AL) |
|
Vacuum Options
|
HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
|
Non-Magnetic Option
|
Yes |
