SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | SMARGON
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.11
- 조회수 :3,813
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SMARGON은 장치의 ω 축을 정의하는 무거운 duty rotation stage에 탑재된 직렬 운동학 및 병렬 kinematics 조합을
기반으로 하여 6degree의 자유도를 갖는 포지셔닝 시스템입니다.
이 회전 플랫폼은 직접 구동 또는 piezo driven stage가 될 수 있습니다.
정교한 하이브리드 Kinematic 접근방식은 구성요소 또는 최대 50g의 다른 payload도 될 수 있는
end effector 를 X, Y 및 Z 방향으로 배치하고 χ-, ω- 방향으로 회전할 수 있도록 합니다.
Degree |
ω |
χ |
φ |
X |
Y |
Z |
Travel Range
|
unlimited |
0° ... 90° |
unlimited |
± 2 mm |
± 2 mm |
± 2 mm |
Sphere of Confusion [µm]
|
< 1 |
< 7 |
< 7 |
-- |
-- |
-- |
Resolution of Motion
|
< 100 µ° |
< 20 µ° |
< 20 µ° |
< 5 nm |
< 5 nm |
< 5 nm |
Velocity
|
180 °/s |
10 °/s |
80 °/s |
~ 10 mm/s |
~ 10 mm/s |
~ 10 mm/s |
-
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