Motorized Opto-mechanics | Rectangular Apertures
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
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검출기의 노출 영역을 제어하기 위한 나노미터 정밀도 또는 일반적인 빔 조절을 합니다.
Model |
SMS-20-0
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SMS-20-20 |
dimensions [mm]
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75 x 75 x 20 |
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Number of Blades
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2 |
4 |
Open-Loop
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Velocity [mm/s]
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>20 |
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Resolution [nm]
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< 1 |
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Closed-Loop
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
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1 (S) 4 (L) |
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Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [nm]
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±30 (S) ,±60 (L) |
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Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]
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50 (L) |
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Closed-Loop Repeatability, Full Stroke (H)CU [nm]
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± 1000 (L) |
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Options
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Material Options
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Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
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Vacuum Options
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HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
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Non-Magnetic Option
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Yes (-NM) |