Optical Metrology | Optical Mycroscopy
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
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SmarAct는 2차원의 정밀한 시료를 취급할 수 있을 뿐만 아니라 현장 시료 조작을 위한 미세조영 시스템을 장착할 수 있는 현미경 검사 stage를 개발했습니다.
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Model
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SOM-MS-CST-SLC-1750
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SOM-MS-CST-SLC-1780
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SOM-MS-1.0
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Travel X [mm]
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31 |
51 |
103 |
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Travel Y [mm]
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31 |
51 |
83 |
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Blocking Force [N]
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≥ 3.5 |
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max. Normal Force [N]
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30 |
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Dimensions [mm]
L x W x H
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90 x 80 x 18 |
120 x 110 x 18 |
238 x 218 x 27 |
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Velocity [mm/s]
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> 20 |
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Resolution [nm]
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< 1 |
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Resolution MCS2 [nm]
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1 (S) 4 (L) |
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Repeatability, Full Stroke
MCS2 [nm]
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± 50 (S)± 100 (L) |
± 80 (S) ± 160 (L) |
± 150 (S)± 300 (L) |
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Resolution (H)CU [nm]
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50 (L) |
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Repeatability,
Full Stroke (H)CU [nm]
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± 1000 (L) |
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Material Options
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Steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK) |
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Vacuum Options
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HV (10-6 mbar); UHV / UHVT (10-11 mbar) |
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