Optical Metrology | Sensor Heads & Options
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- 작성일 :작성일19.09.16
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C01
많은 편의 기능을 갖춘 일반적인 용도의 소형 센서 헤드.
C02
최대 1m까지 Collimate된 빔이 있는 센서 헤드.
C03
중간 거리 및 역 반사 대상에 최적화된 시준 빔이 있는 센서 헤드.
F01
정렬 공차가 높은 집중 빔이 있는 센서 헤드
L01
원통형 표적에 대한 라인 포커스 빔이 있는 센서 헤드.
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Sensor Heads |
C01
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C02
|
C03
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F01
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L01
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Beam Geometry
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Collimated |
Focused |
Line-focused |
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Focal Length [mm]
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- |
8 - 30 |
30 or 50 |
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Spot Size [µm]
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400 |
1520 |
1590 |
28 * |
50 x 1590 |
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Working Distance [mm]
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13 .. 650 |
13 .. 1000 |
13 .. 500 |
10 ± 0.5 * |
± 10 |
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Angular Working Range [°]
|
± 0.05 |
± 0.013 |
± 2 * |
± 1.3 along focused axis |
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Environmental Compatibility
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Air, HV, UHV, Cryogenic |
Air, HV, UHV |
Air, HV, UHV |
Air, HV, UHV |
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Typical Targets
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Mirror |
Mirror, Retro-Reflector |
Small Samples |
Cylindrical Samples |
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Comment
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- |
* for 10 mm focal distance. |
- |
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Mechanical
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Dimensions [mm]
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4 x 13 (Ø x L) |
9 x 23 (Ø x L) |
6 x 21 (Ø x L) |
6 x 21 (Ø x L) |
9 x 26 (Ø x L) |
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