Hybrid & Exchangeable Drive | CLS-32
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :4,281
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SMARPOD CLS-32는 중간 크기의 육각형 배치 시스템입니다.
이 유닛은 위치 설정을 완전히 분해할 필요 없이 보정 및 위치 데이터를 손실하지 않고
피에조 드라이브를 쉽고 빠르게 교환할 수 있도록 SmarAct의 교환 가능한 드라이브 유닛(EDU)을 갖추고 있습니다.
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Mechanical
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Travel [mm]
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20 (X); 20 (Y); 10 (Z) |
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Max. Normal Force [N]
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5 |
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Dimensions [mm]
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Ø 124 |
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Weight [g]
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550 |
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Closed-loop
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Sensor Types
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S; SC |
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Options
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Vacuum Options
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HV / UHV |
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Non-Magnetic Options
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Yes (1NM) |
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