SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | SMARPOD P-SLC-17
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :3,338
본문
SMARPOD P-SLC-17은 수평 장착 stage의 방향과 관련하여 다른 기계적 설계에 기초합니다.
거의 동일한 크기의 원형 SMARPOD와 비교하여 P-SLC-17은 원형 설계에서 사용할 수 있는 Aperture를 분사하여
훨씬 더 큰 이동 범위를 제공합니다.
SLC-17 Series stage에 기초하여 SMARPOD P-SLC-17은 완전 비자기 소재로 만들어진 버전뿐만 아니라
HV/UHV 진공 버전에서도 사용할 수 있습니다.
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Model
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P-SLC-17
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Travel x [mm]
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48 |
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Travel y [mm]
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28 .. 48 |
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Travel z [mm]
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≤ 9 |
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Rotation Θx [°]
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≤ 28 |
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Rotation Θy [°]
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≤ 26 |
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Rotation Θz [°]
|
≤ 20 |
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Max.Vertical Load [N]
|
5 |
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Dimensions [mm]
|
> 100 x 80 |
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Height [mm]
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> 67.5 |
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Weight [g]
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300..2000 |
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Sensor type
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S, SC |
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Vacuum
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HV / UHV |
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