SMARPOD & TRIPOD & SMARGON | SMARPOD P-CLL
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
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SMARPOD P-SLL은 Y 방향의 이동을 위한 SLC 단계와 X 방향의 CLL stage에 기초합니다.
서로 다른 Linear stage의 이러한 특정한 조합 때문에, P-CLL은 Y 방향으로 작은 foot print를 유지하면서
최대 1200mm의 X 방향으로 극히 큰 이동 범위를 제공합니다.
고진공 호환 버전으로도 이용할 수 있습니다.
Model
|
P-CLL
|
Travel x [mm]
|
20 .. 1200 |
Travel y [mm]
|
45 .. 119 |
Travel z [mm]
|
≤ 16 |
Rotation Θx [°]
|
≤ 42 |
Rotation Θy [°]
|
≤ 33 |
Rotation Θz [°]
|
≤ 42 |
Max.Vertical Load [N]
|
10 |
Dimensions [mm]
|
> 250 x 93 |
Height [mm]
|
> 67.5 |
Weight [g]
|
300..2000 |
Sensor type
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S, SC |
Vacuum
|
HV |
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