Hybrid & Exchangeable Drive | CHS-5237-1D-10- High Load Stage
페이지 정보
- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :4,112
본문
교환이 가능한 드라이브가 장착된 고부하 스테이지 - 10mm의 수직 이동을 제공하며 최대 10N의 페이로드 처리가 가능하고
서비스 시 필요한 경우 전체 piezo 드라이브를 스테이지에서 제거할 수 있습니다.
드라이브-유닛은 스테이지 측면에서 접근할 수 있으므로 서비스 중에 위치 설정에서 장치를 제거할 필요가 없습니다.
Mechanical
|
CHS-5237-1D-10
|
Travel [mm]
|
10 |
Max. Lift Force [N]
|
10 |
Dimensions [mm]
|
51 x 52 x 37 |
Weight [g]
|
460 |
Open-loop
|
|
Velocity [mm/s]
|
> 4 |
Resolution [nm]
|
< 1 |
Closed-loop
|
|
Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
|
1 (S), 4 (L) |
Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]
|
500 (L) |
Options
|
|
Vacuum Options
|
HV / UHV |
Material Options
|
Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK) |
-
이전글
CLS-3232 -
다음글
TRIPOD 92-6DoF