Hybrid & Exchangeable Drive | CHS-5237-1D-10- High Load Stage
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- 작성자 :최고관리자
- 작성일 :작성일19.09.16
- 조회수 :4,084
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교환이 가능한 드라이브가 장착된 고부하 스테이지 - 10mm의 수직 이동을 제공하며 최대 10N의 페이로드 처리가 가능하고
서비스 시 필요한 경우 전체 piezo 드라이브를 스테이지에서 제거할 수 있습니다.
드라이브-유닛은 스테이지 측면에서 접근할 수 있으므로 서비스 중에 위치 설정에서 장치를 제거할 필요가 없습니다.
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Mechanical
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CHS-5237-1D-10
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Travel [mm]
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10 |
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Max. Lift Force [N]
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10 |
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Dimensions [mm]
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51 x 52 x 37 |
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Weight [g]
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460 |
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Open-loop
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Velocity [mm/s]
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> 4 |
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Resolution [nm]
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< 1 |
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Closed-loop
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Closed-Loop Resolution MCS2 [nm]
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1 (S), 4 (L) |
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Closed-Loop Resolution (H)CU [nm]
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500 (L) |
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Options
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Vacuum Options
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HV / UHV |
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Material Options
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Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK) |
